삼성전자, P5용 EUV 20대 발주…“내년 첫 클린룸 준공”

(서울경제) 삼성전자가 10㎚(나노미터·10억 분의 1ｍ) 이하의 초미세공정을 위한 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광장비 약 20대를 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML에 발주한 것으로 파악됐다. 심자외선(DUV) 장비까지 포함하면 노광장비의 발주 규모만 총 70여 대에 달한다. 삼성전자가 이번에 발주한 노광장비들은 내년 1분기로 예상되는 P5 내 1구역의 클린룸 구축 시점에 맞춰 도입될 예정이다. 반도체 장비 운송에 통상 1년가량 소요되는 점을 감안하면 삼성전자가 2분기에는 EUV를 포함한 노광장비들을 P5의 클린룸에 투입할 것으로 전망된다. 이에 따라 내년 상반기에는 삼성전자의 1c D램과 HBM4의 생산능력이 대폭 증가할 가능성이 높다. 삼성전자가 약 20대의 EUV를 새로 발주하면서 양 사의 초미세공정을 둘러싼 장비 격차는 유지될 가능성이 높아졌다. 삼성전자는 현재 SK하이닉스의 2배 수준인 40여 대의 EUV를 가동하는 것으로 알려져 있다. 이번에 EUV를 포함해 총 70여 대의 노광장비가 도입되면 SK하이닉스와 초미세공정 체제 경쟁에서 계속 앞서 나갈 수 있다.