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[단독] 삼성·SK 투자한 EUV 포토레지스트 美 인프리아, 日 JSR이 인수…한국 EUV 공급망 영향 주목
강해령 기자
2021-09-17 09:44:42

삼성전자와 SK하이닉스가 투자한 미국 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 업체 인프리아를 일본 소재 강자 JSR이 인수했다. 인프리아는 기존에 업계에서 시도되지 않았던 무기물 기반 EUV PR을 만들던 전도유망한 소재 회사다. 이미 EUV PR 시장에서 90% 이상 점유율을 차지해온 일본의 EUV PR 기술 영향력이 강화되고, 삼성전자와 SK하이닉스의 EUV PR 공급망(SCM)에 적잖은 변화가 있을 것으로 예상된다.

17일 업계에 따르면 일본 JSR은 미국 EUV PR 회사 인프리아 지분 79%를 인수한다고 발표했다. 이 회사는 지난 2017년과 2020년 두 번의 투자로 인프리아 지분 21%를 소유하고 있었지만, 이번 인수로 100%를 확보하게 된 셈이다.

이번 JSR의 인프리아 인수는 세계 EUV PR 시장에 상당한 파급력을 줄 것으로 보인다. EUV PR은 빛으로 웨이퍼 위에 회로 모양을 반복적으로 찍어내는 노광 공정에서 반드시 필요한 소재다. 웨이퍼 위에 EUV PR을 도포하면 빛에 반응해 회로 모양을 형성한다. 오랜 소재 결합 노하우를 바탕으로 JSR, 신에츠화학 등 일본 기업들이 강한 면모를 띄고 있다. 지난 2019년 일본이 대법원 강제징용 판결을 트집잡아 한국을 상대로 수출을 금지한 품목으로 잘 알려져 있다.

인프리아는 2007년 설립된 미국 EUV PR 회사다. 이 회사는 기존 EUV PR과는 차별화한 촘촘한 원천 특허 기술로 소재를 만든다. 특히 PR을 구성하는 분자 크기가 기존 유기물 기반 PR보다 약 5분의 1 작은 '무기물' 기반 PR이기 때문에, 노광 시 훨씬 정교하면서도 단단하게 회로를 형성한다. 인프리아 무기물 PR 기술은 3나노 이하 반도체 시대에서 초미세 회로를 형성하기 위한 전도유망한 기술로 주목 받아왔다. 삼성전자와 SK하이닉스는 물론, TSMC 등 내로라하는 반도체 칩 회사들이 이 회사에 투자했다.

JSR은 유기물 기반 EUV PR을 공급해오던 회사다. 이번 인프리아 인수로 유기물 EUV PR 뿐만 아니라 차세대 무기물 EUV PR 기술까지 확보하게 되면서 관련 시장 영향력이 더욱 커질 전망이다. JSR은 이번 인수 발표에서 "반도체 고객사들이 2나노 이하 반도체를 생산하면서 더욱 해상도가 높은 EUV PR을 요구하고 있다"며 "JSR은 인프리아를 인수하면서 무기물 포토레지스트 제품군을 추가하게 돼, 첨단 소재를 공급하게 될 것"이라고 밝혔다.

특히 이번 인수로 향후 국내 EUV PR 공급망에 어떤 영향력이 있을 지 관심이 쏠린다. 일본 수출 규제 이후 일본 도쿄오카공업(TOK), 미국 듀폰, 스미토모화학 등이 EUV PR 생산 현지화에 나서고 있지만, 여전히 JSR, 신에츠 등 일본 주요 업체들의 일본 내 생산량과 시장 영향력은 상당하다.

차세대 EUV PR 원천 기술까지 일본 최대 EUV PR 업체가 거머쥐면, 향후 글로벌 반도체 시장에서 일본 업체의 첨단 소재 영향력이 더욱 커질 것으로 전망된다.

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