https://www.perekop.info/diafragmennyj-nasos-idealnyj-forvakuumnyj-nasos-dlya-obespecheniya-raboty-turbomolekulyarnyh-nasosov/
Диафрагменный насос — идеальный форвакуумный насос для обеспечения работы турбомолекулярных насосов