А вот загрузка образцов - просто ложишь на тарелку из диоксида кремния и роборука грузит это в рабочую зону автоматически. Также фото скады и рабочий режим плазмы во время травления. Особо глазастые разглядят в скаде что ICP POWER всего 20 ватт и поэтому плазма не так сияет. Но интересный момент тут в том что не только яркость, но и цвет поменялся. Газы тут другие - хлор и борид хлора, следовательно другой спектр. Самая мякотка в том что в зависимости от того что именно сейчас травится цвет тоже меняется и на продакшене вы вполне можете запилить туда спектроскоп, а в образец на определённой глубине маркерную примесь. Получим максимальную скорость и максимальный контроль в одной пачке. Минус только в стоимости спектроскопа и набора железа к нему)
#техпроцесс #RIE

Следующий шаг это снова литография, но в этот раз двухслойная, с undercut'ом нижнего слоя. Что это такое можно понять по мэдскиллз рисунку. Мы будем использовать Metal Vapour Deposition и снимать резист ацетоном, поэтому если нет нижнего слоя - наш резист просто накроет со всех сторон металлом и заблокирует от ацетона. На микрофото мишень для совмещения слоёв. В верхней части видна мишень на заготовке (тусклый белый цвет с буквами OHM), и ответная часть маски которая перевелась на фоторезист (тёмная и бежевая часть). Логично что процедура совмещения слоёв это совмещение гребёнок оси Y слева сверху и оси Х справа снизу. Справа сверху видна тестовая область - гребёнки нужны для проявки резиста, оптимально когда средняя гребёнка ещё видна, а самая тоненькая слева уже исчезла и стала дырочкой. Почти как сейчас, буквально 2 секунды передержал, не страшно. Ну а зачем закрытая область справа можете попробовать угадать)
#техпроцесс #литография

После литографии осталось только закрепить образцы и отсосать воздух до 10^-4 Паскалей давления в этом шкафу. Зовётся это Electron Beam Metal Vapour Deposition, а логика работы тёплая и ламповая. Буквально. Анод у этой лампы прямого накала, виден на последней картинке - светится снизу. Катод же это чашечка с материалом для напыления - на последней картинке это алюминий с синеватым свечением вокруг (это чашка из нитрида бора, поэтому такой цвет). В рабочем режиме яркость просто убойная - забивает камеру и нихрена не видно, третья фотка сделана через два поляризатора под 90 градусов плюс затемняющее стекло. Рабочий режим зависит от металла, для титана где-то 100мА тока луча и 4кВ анодного напряжения. Для молибдена 150мА и 8кВ плюсминус. Положение луча можно менять электромагнитом, как в ЭЛТ мониторе, но у нас только одна ось - только продольное движение. Если сделано для серьёзных людей, то как правило есть программный контроль луча по двум осям и паттерны для каждого металла.
#техпроцесс #напыление

Закат, краб и паук прыгун. Еле как выбрались на пляж в этом сезоне, не смог удержаться от поиска хороших кадров. Паук снят в макро - реальный размер примерно 5мм, очень понравилась расцветка. Прям как паук Лукас из анимашки на ютубе, прям ми-ми-ми какое-то. Как кот или сова, только паук.
#красивое

В последнее время бегаю в мыле по разным проектам, а постить материала практически нет.
Но вот большие дяденьки дали мне поиграться с тем из чего сами уже выросли. Цель - собрать полуавтоматический Load Pull на 25 Гигагерц, откалиброваться по самое нехочу и прокачать наши кристаллы до сизого дыма. Вроде как победил плату контроллера тюнера, теперь предстоит калибровка ВСЕГО. Начиная от тюнеров и кабелей до переходничков в коробке и кошек в подвале. По классике присутствует глючный софт 20 летней давности, багованный VNA и кто-то приспособил измеритель мощности на другую машину.
П.С. Рядом ещё стоит двухгиговая система, думаю сделать обзор с объяснением что и как работает в LP измерениях.
#измерения #LP #HF

Перепало несколько TMP с мусорки, такие вот дела. Как минимум две живые, одна взорванная, последняя - хз. Но только два контроллера, придётся что-то ваять или рожать.
Видел схемы контроллеров вот прям совсем по бичу, можно попробовать поиграться. Если у кого есть идеи откуда стырить схему - жду предложений. Там в качестве мотора bldc на постоянных магнитах, всё просто.
Взорванную попробую починить, вроде крыльчатка живая.
#TMP #железо