Forwarded from 디일렉(THEELEC)
반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 극자외선(EUV)용 펠리클(Pellicle) 개발 로드맵을 밝혔다.최재혁 에프에스티 부사장은 지난 22일 서울 역삼 포스코타워에서 열린 '2021 반도체 EUV 생태계 빅 트렌드 릴레이 콘퍼런스'에서 "1세대(가칭) EUV 펠리클은 2023년부터 양산할 계획이고, 하이 파워·하이 렌즈 수차(NA)에 대응할 수 있는 EUV 펠리클은 2025년부터 양산할 수 있도록 준비하고 있다"고 밝혔다.펠리클은 마스크를 먼지로부터 보호하는 부품이다. EUV용 펠리클은 두께가 50나노미터(nm
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에프에스티 "1세대 EUV 펠리클 2023년부터 양산 계획" - 전자부품 전문 미디어 디일렉
반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 극자외선(EUV)용 펠리클(Pellicle) 개발 로드맵을 밝혔다.최재혁 에프에스티 부사장은 지난 22일 서울 역삼 포스코타워에서 열린 '2021 반도체 EUV 생태계 빅 ...